产品应用

 

一家专注于半导体设备研发/生产及销售的企业

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规格：

 

■ EFEM公司

■ 机器人/预对准器/装货港/FFU

■ 带热板的胶水/蜡/环氧涂层

■ 使用真空粘合机进行热/紫外线固化

■ 高真空室

■ 高结合力

■ 高温加热器

 

晶圆临时键合工艺流程（双层）

■ 技术应用

200mm~300mm临时键合与间接永久键合

 

200mm~300mm晶圆键合与解键合