激光解键合机: 8~12寸

采用Nd:YAG晶体的二极管端面泵浦调q三倍频激光器，

带激光头、电源、冷却器：

-波长：UV～IR

-脉冲重复率：从单次激发到10kHz

-从单次激发到10kHz的脉冲能量：3mJ

-脉冲长度：10ns

-10kHz时的最大平均功率：30W

-梁轮廓：平顶帽

-扫描镜头：F580mm，用于320x320的扫描区域，WD 670mm