样品信息
Wafer：GaAs-6 inch
Carrier：sapphire-159mm
胶厚：20um
| 键合精度 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
TTV |
| 1 |
1398 |
1399 |
1399 |
1398 |
1398 |
1 |
| 2 |
1292 |
1293 |
1291 |
1291 |
1292 |
2 |
| 键合精度 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
11 |
12 |
13 |
TTV |
| 1 |
755.98 |
756.82 |
757.25 |
758.46 |
756.93 |
757.2 |
758.14 |
756.76 |
757.9 |
758.78 |
756.61 |
757.16 |
758.07 |
2.8um |
样品信息
Wafer：SiC-8 inch
Carrier：SiC-8 inch
胶厚：26um
样品信息
Wafer：SiC-8 inch
Carrier：glass-8 inch
胶厚：55um
| 键合精度 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
11 |
12 |
13 |
TTV |
| 1 |
1482.52 |
1483.02 |
1483.78 |
1483.53 |
1483.78 |
1482.77 |
1481.51 |
1482.77 |
1483.55 |
1483.27 |
1482.77 |
1482.62 |
1481.76 |
2.27 |
| 2 |
1485.45 |
1484.78 |
1484.28 |
1484.03 |
1484.87 |
1484.03 |
1483.78 |
1483.78 |
1482.26 |
1483.27 |
1483.52 |
1482.77 |
1483.27 |
3.19 |
样品信息
Wafer：SiC-8 inch
Carrier：glass-8 inch
胶厚：32um
| 键合精度 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
TTV |
| 1 |
1426 |
1427 |
1425 |
1425 |
1425 |
1427 |
1426 |
1426 |
1425 |
2 |
| 2 |
1428 |
1427 |
1429 |
1430 |
1428 |
1429 |
1430 |
1429 |
1427 |
3 |
样品信息
Wafer：SiC-8 inch
Carrier：glass-8 inch
胶厚：50um
| 键合精度 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
11 |
12 |
13 |
TTV |
| 1 |
1467.99 |
1468.21 |
1468.51 |
1468.06 |
1468.34 |
1468.68 |
1469.65 |
1468.01 |
1467.66 |
1466.81 |
1468.04 |
1468.6 |
1468.88 |
2.84 |
| 2 |
1460.62 |
1460.7 |
1461.44 |
1460.27 |
1460.41 |
1459.85 |
1459.36 |
1460.91 |
1461.43 |
1460.71 |
1461.01 |
1462.46 |
1461.11 |
3.1 |
| Wafer |
Carrier |
键合类型 |
样片 |
| Si |
Glass |
阳极键合 |
|
| Si |
SiO2 |
熔融键合 |
|
| Si |
Si |
金金键合 |
|
