匀胶

匀胶转速：

LTHC：500rpm/5s+1000rpm/40s+2000rpm/1s

LC-3200：600rpm/5s+1150rpm/30s-膜厚73um

LC-3200：600rpm/5s+1700rpm/30s-膜厚50um

键合方式：常温键合

真空抽放次数：1次

键合压力：0N

烘烤

键合

UV固化

烘烤温度/时间：

LTHC：200℃/4min

UV波段：305nm

照射时长：20s

膜厚：49.75

最小值：49.60             均值：49.75                范围：0.32

最大值：49.92             标准差：0.10              均匀度：0.32%

膜厚：73.40

最小值：72.98             均值：73.40                范围：0.64

最大值：73.62             标准差：0.12              均匀度：0.43%