产品应用
一家专注于半导体设备研发/生产及销售的企业
规格:
■ EFEM公司
■ 机器人/预对准器/装货港/FFU
■ 带热板的胶水/蜡/环氧涂层
■ 使用真空粘合机进行热/紫外线固化
■ 高真空室
■ 高结合力
■ 高温加热器
晶圆临时键合工艺流程(双层)
■ 技术应用
200mm~300mm临时键合与间接永久键合
200mm~300mm晶圆键合与解键合