半自动晶圆临时键合机 SBN-12
晶圆尺寸 / Wafer Size : 300mm(12")
键合压力 / Bonding Force: ≤ 60kN
键合温度 / Bonding Temperature: ≤ 350°C
腔体真空 / Chamber Vacuum:10-2mbar
键合偏移 / Bonding Shift:≤ 0.1mm
键合TTV≤3.0um
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