全自动晶圆临时键合机 ABT-12
晶圆尺寸 / Wafer Size : 300mm(12’’)
键合压力 / Bonding Force: ≤ 60kN
键合温度 / Bonding Temperature: ≤ 350°C
腔体真空 / Chamber Vacuum:10-2mbar
键合偏移 / Bonding Shift:≤ 0.1mm
键合TTV≤3.0um
产能 / WPH≈8
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全自动永久键合机 APB-08
APB-08是一款最新研发的全自动永久键合设备,设备内配置等离子活化,预对位,键合及晶圆传送系统,主要应用于化合物半导体,先进封装,CIS,POWER IC 等。¥ 0.00立即购买
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等离子活化机 SPL-12
SPL-12是一款半自动、适合小批量生产的晶圆等离子活化系统,利用等离子去除表面污染物和增加表面能,可降低晶圆键合退火温度以及提高键合强度。¥ 0.00立即购买
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对准机 SAL-08
SAL-08是一款半自动、适合小批量生产的对准系统,支持晶圆与晶圆对准。拥有 2颗CCD(10倍镜)、WEC平台及XYZ移动平台系统。¥ 0.00立即购买
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全自动永久键合机 APB-08
SPB-08是一款半自动、适合小批量生产的键合系统,支持例如阳极键合、热压键合、胶黏键合、金属扩散键合等常见的晶圆键合工艺。拥有快速加热和冷却的卡盘和独立的顶部/底部加热器、及大压力键合系统。¥ 0.00立即购买