半自动激光解键合机 SLN-12
晶圆尺寸 / Wafer Size:≤ 300mm(12")
激光源 / Laser Source:DPSS
激光功率 / Laser Power : 15W
脉冲宽度 / Pulse Width : ~10ns
激光波长 / Laser Wavelength:UV~IR
激光束 / Laser Beam:Flat-Top
光斑尺寸 / Spot Size : ~250um
焦深 / DOF : ~10mm
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