晶圆尺寸 / Wafer Size : ≤ 200mm(8")
对准精度 / Accuracy of Alignment：≤±2.0um
工作台行程 / XYZ Travel： X:±5mm；Y:±5mm，Z:±3mm；θ:±3°
镜头行程/XYZ Travel： X:±10mm；Y:±10mm，Z:±4mm；
光源 / Light Source : Visible，IR
对准方式 / Type of Alignment : Face to Back，Face to Face
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