等离子活化机 SPL-12
晶圆尺寸 / Wafer Size:100~300mm(4-12")
最大功率 / Power: 200W
工作频率 / Frequency:0-40kHz,300-500kHz
腔体真空 / Chamber Vacuum: 9x10-2mbar (Option : 5x10-5mabr)
工艺气体 / Gas:N2、O2、CF4、Ar
流量 / Flow Rate:1-100sccm
晶圆尺寸 / Wafer Size:100~300mm(4-12")
最大功率 / Power: 200W
工作频率 / Frequency:0-40kHz,300-500kHz
腔体真空 / Chamber Vacuum: 9x10-2mbar (Option : 5x10-5mabr)
工艺气体 / Gas:N2、O2、CF4、Ar
流量 / Flow Rate:1-100sccm