等离子活化机 SPL-12
晶圆尺寸 / Wafer Size：100~300mm(4-12")
最大功率 / Power： 200W
工作频率 / Frequency：0-40kHz，300-500kHz
腔体真空 / Chamber Vacuum： 9x10-2mbar (Option : 5x10-5mabr)
工艺气体 / Gas：N2、O2、CF4、Ar
流量 / Flow Rate：1-100sccm
计时中
晶圆尺寸 / Wafer Size：100~300mm(4-12")
最大功率 / Power： 200W
工作频率 / Frequency：0-40kHz，300-500kHz
腔体真空 / Chamber Vacuum： 9x10-2mbar (Option : 5x10-5mabr)
工艺气体 / Gas：N2、O2、CF4、Ar
流量 / Flow Rate：1-100sccm
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苏州芯睿科技有限公司成立于2021年，注册资本1398万人民币，是一家专注于半导体设备研发、生产及销售的企业。公司多年专精于研发键合解键合设备，晶圆尺寸2-12寸，产品应用覆盖半导体全领域，是临时键合、永久键合整体方案提供者。
电话： 0512-69882728
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