全自动激光解键合机 ALC-12
晶圆尺寸 / Wafer Size：≤ 300mm(12’’)
激光源 / Laser Source：DPSS
激光功率 / Laser Power : 15W
脉冲宽度 / Pulse Width : ~10ns
激光波长 / Laser Wavelength：UV~IR
激光束 / Laser Beam：Flat-Top
光斑尺寸 / Spot Size : ~250um
焦深 / DOF : ~10mm
产能/WPH≈15
晶圆尺寸 / Wafer Size：≤ 300mm(12’’)
激光源 / Laser Source：DPSS
激光功率 / Laser Power : 15W
脉冲宽度 / Pulse Width : ~10ns
激光波长 / Laser Wavelength：UV~IR
激光束 / Laser Beam：Flat-Top
光斑尺寸 / Spot Size : ~250um
焦深 / DOF : ~10mm
产能/WPH≈15
