Libera系列激光解键合设备ALC-12
主要规格参数:
1.晶圆尺寸 / Wafer Size: 2"-12"
2.激光源 / Laser Source: DPSS
3.激光功率/ Laser Power: 15W
4.脉冲宽度/ Pulse Width: - lOns
5.激光波长/ Laser Wavelength: UV-IR
6.激光束/ Laser Beam: Flat-Top
7.光斑尺寸/ Spot Size: -250um
8.焦深 / DOF: -lOmm
9.等离子功率/ Plasma Power: 2000W
10.射频功率/ RF Power: 13.56MHz
11.工艺气体 / Gas: N2, 02, CF4
产品中心
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