Striker系列等离子活化设备SPL-12
主要规格参数:
1.晶圆尺寸 / Wafer Size: 4"-12"
2.最大功率 / Power: 200W
3.工作频率/ Frequency: 0-40kHz, 300-SOOkHz
4.腔体真空 / Chamber Vacuum: 9x10-2mbar (Option : 5x10-5mabr)
5.工艺气体/ Gas: N2、02、CF4
6.流量/ Flow Rate: 1-lOOsccm
产品中心
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